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                  EVS Probe Card

                  EVS探針卡是對傳統bucklingbeam探針卡的增強。主要特點是更高的載流能力(C.C.C.)和更低的平衡接觸力(BCF),以及整體的MEMS特性。EVS可以輕松滿足先進晶圓探測的要求,精確對準和良好的平面度控制是穩定接觸電阻的關鍵因素。憑借其容量和性能,EVS 是高級探卡的理想選擇。

                  特點與優勢

                  • EVS主要特點

                     

                     

                     

                    類MEMS特性

                     

                    具有平頭和尖頭兩種

                     

                    較小的針痕

                     

                    對80um以上的pitch更理想

                     

                    平面接觸力比常規屈曲梁低50%

                     

                    載流能力比常規屈曲梁高40%

                     

                    更長的葉尖長度有助于延長使用壽命

                     

                    .與MPl內部基板兼容

                     

                     

                     

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