MPI 探針臺

全球首個155mm高頻專用探針臺，專為高達1.5THz或更高的mmW和THz晶圓上測量而設計；
無縫集成任何高達1.5THz的帶差分或寬帶擴頻器；最大的機械穩定性和可重復性，結合方便和安全的操作；

MPI 高功率探針臺系統
TS150-HP & TS200-HP TS2000-HP Probe System TS2000-DP Probe System
MPI 手動晶圓級探針臺系統（微屏蔽）
TS200-SE Probe System TS300-SE Probe System
MPI 全自動晶圓級探針臺系統
TS2500 Series Probe System TS3500 Probe System
MPI 半自動晶圓級探針臺系統
TS2000 Probe Systems TS2000-SE Probe System TS3000 Probe System TS3000-SE Probe System SiPH Probe System
MPI SENTIO Software Suite
MPI NoiseShield
NoiseShield?
MPI 測試系統選件
DC & RF Probe Arms MPI MicroPositioners Chuck System
MPI 手動晶圓級探針臺系統
TS150&TS200&TS300
MPI 手動晶圓級太赫茲探針臺系統
TS150-AIT & TS200-THZ TS150-THZ

R&S 羅德斯瓦茨

● 隨時可以投入使用、可以修改的應用測試、項目和器件，縮短測試開發時間

● 業內第一臺內置測量視頻的儀器，測試視頻由全球應用工程師提供，分為4

種語言，縮短學習周期

● pin to pad接觸檢查，確保測量可靠

● 多種測量功能

● 數據顯示、分析和代數運算功

網絡分析儀
R&S?ZNB 矢量網絡分析儀 R&S ZNA矢量網絡分析儀

測試儀表

4200A-SCS 是一種可以量身定制、全面集成的參數分析儀，可以同步查看電流電壓 (I-V)、電容電壓 (C-V) 和超快速脈沖式 I-V 特性。作為性能最高的參數分析儀，4200A-SCS加快了半導體、材料和工藝開發速度。

Keithely 4200A-SCS

全自動半導體參數分析儀系列

Tektronix 示波器系列

矢量接收機負載牽引系統

噪聲參數測試系統

脈沖I/V測試系統

PNA網絡分析儀 N5291A

FS-Pro 半導體參數測試系統

低溫磁場探針臺

該系統提供了一個經濟的, 穩定的, 可靠的超低溫和強磁場環境用于微納器件和芯片的測試。得益于優異的振動隔離、熱力學，使這套系統應用非常廣泛，橫跨納米電子學自旋電子學 , 分子電子學等。

LRT-001 微型探針冷熱臺

納米探針臺

超低溫磁場探針臺

三維磁場探針臺

超低溫半自動探針臺

快速高低溫系統

ThermalAir TA-5000系列溫度強制系統將精確的熱測試功能直接帶到測試應用中，精確地定位在需要熱調節溫度循環的地方。 ThermalAir TA-5000溫度系統為一系列產品和技術提供靈活的熱測試解決方案。

TA-5000A

ICE低溫恒溫器

稀釋制冷機

300mK He-3低溫恒溫器

1.5K系列低溫恒溫器

ICE 4k/10k系列恒溫器

Vcsel光電測試系統

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RA-880激光開封機匯聚了幾十年專業知識與沉淀的創新設計。設備底座由穩固的機械機構組成，所有軸全由CNC控制。

Elite Etch Cu 化學開封機

RA-880 激光開封機

霍爾效應測試

? 電阻率測量范圍:10-4-109?·cm(取決于樣本)
? 遷移率:1-107cm2/V·S(取決于樣本)
? 載流子濃度: 107 -1021 per cm3 (取決于樣本)
? 電流源:±2nAto±20mA,±12Vcompliance

霍爾效應測試系統ezHEMS

霍爾效應測試系統HEMS

振動樣品磁強計VSM

臺階儀

? 可追溯性：通過ISO9000國際認證，可追溯 NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，產品出廠皆有出廠測試認證報告
? 超高垂直直線度精度保證：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm
? 可測定樣品的平面度、波紋度、翹曲度、內應力

Kosaka 6寸臺階儀

Kosaka 便攜式臺階儀

Kosaka 粗糙度輪廓儀

測試耗材

MPI公司通過引入TITAN-RC探針來擴展RF TITAN探針的系列。新的探針模型的特點是觸頭寬度減小了33％，減小到20μm。
TITAN?探針技術的最強功能之一是其均勻的磨損,由于獨特的探頭設計，其電氣特性保持不變。因此，TITAN?探針的使用壽命超過了同類探針技術的使用壽命。

TITAN? 探針技術

TITAN?多觸點探頭

MPI RF Calibration Substrates

MPI QAlibria?

MPI射頻電纜配件

封裝器件測試夾具

磁場產品

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螺線管磁體

三維電磁鐵（矢量電磁鐵）

電磁鐵（C型）

Afore產品

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EVS Probe Card

FCB Prober Card

Cantilever Probe Card

Hanwa產品

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Hanwa HED-W5000M

Hanwa HED-T5000

Hanwa HDE-C5000R

Hanwa HED-N5000

Hanwa HCE-5000

HPPI

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MPI MicroPositioners

MPI提供了各種各樣的無間隙微定位儀，以解決各種操作和測量條件。從小尺寸到用于射頻和毫米波應用的微米驅動高分辨率定位器都包括在內。

MPI MicroPositioners Overview

特點與優勢

接觸性能

統一的Z方向，符合人體工程學的操作以及具有極強夾持力的磁性底座，可以進行精細的探頭放置，從而實現高接觸質量，產生無與倫比的測量結果。

MPI MicroPositioner的通用探針接口設計為與所有探針臂兼容，從而簡化了應用程序的特定適應性。設計品種允許操作員選擇適合其操作熟悉程度的MicroPositioner，從而立即熟練使用。

輕松升級

MPI自行開發的MicroPositioner的設計毫不含糊。全碳鋼結構可實現長時間穩定的接觸和出色的定位精度。
產品——應用矩陣

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