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                  產品中心

                  TS3000 Probe System

                  MPI的TS3000是半自動300mm探針臺測試系統,搭配獨特的可開放式下做高低溫測試,專門為產品工程,故障分析,設計驗證,晶圓級可靠性以及RF和mmW應用而設計,
                  并提供:
                  ? 模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
                  ? 最高溫度范圍-60°C至300°C
                  ? 最大的靈活性
                  ? 具有特定設計的電纜接口的與功能測試儀的最小電纜距離,可實現更好的測量方向性
                  ? 最小的卡盤到工作臺面高度可實現最佳mmW和內部節點探測
                  ? 通過在內部集成熱系統的冷卻器,將系統占地面積降至最低

                  特點與優勢

                  • IceFreeEnvironment™

                    結合了MPI的IceFreeEnvironment™,TS3000可以在-60至300°C的寬溫度范圍內對300mm的晶片進行微型定位器和(或)探針卡測試,并具有在膠片框架上進行探測的附加功能。

                     

                     

                     

                     

                  • 探針懸??刂?/h1>

                    MPI探針懸??刂芇HC™允許輕松手動控制探針與晶片的接觸和分離。分離距離可以通過測微計反饋精確控制,以實現探針到晶圓的精確定位。

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                  • 超大面積工作臺

                    TS3000系列提供了易于使用的大型探針座放置臺面,以適應多達12套直流或4套射頻的微定位器。

                    集成了負載拉力調諧器或更大面積的微型定位器,使得TS3000系統成為RF和mmW測量的理想選擇。

                     

                     

                     

                     

                  • 快捷的晶圓裝載

                    雙前門通道和獨特的卡盤設計使150、200、300mm晶圓,及微小器件的快速更換

                    兩只陶瓷專用射頻校準AUX卡盤位于前面,可以很方便地進行裝卸。

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                  • 集成硬件控制面板

                    智能硬件控制面板完全集成到探針系統中,并基于數十年的經驗和客戶互動而設計,隱藏式的鍵盤、鼠標增加整體美觀。

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                  • 溫控系統

                    MPI和ERS共同設計了新型300 mm熱卡盤AirCool®PRIME 系列,具有無與倫比的熱靈活性,可將變溫時間減少60%,

                    減少轉換時間,改善電氣性能,在惰性氣體氣氛下進行更輕松的測試以及現場可升級性是AirCool®PRIME熱卡盤系統的附加價值。

                    便捷式的觸摸屏實時顯示卡盤溫度,觸摸屏位于操作員前方的便利位置,以實現快速的操作和即時的反饋。

                     

                     

                     

                  • ERS獨特的AC3冷卻技術

                    MPI旗下全系列探針臺系統均采用ERS獨特的AC3冷卻技術和自我管理系統,可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment™,與市場上的其他系統相比,可大幅減少30%至50%的空氣消耗。

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                  • 探針卡和微型定位器

                    多達12套DC或4套DC和4套射頻微型定位器,及4.5英寸的標準探針卡夾具,使該系統成為設計驗證和(或)故障分析工作的理想選擇。

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                  • 安全測試管理(STM)系統

                    獨特的STM系統可防止在測試過程中打開門,以保證測量結果很安全。在負吸盤溫度期間,任何情況下都無法意外打開任何系統門。獨特的智能露點控制程序可避免冷測試期間的積聚。系統自動監視CDA或氮氣的流量。如果流量中斷或流量不足,則STM™會自動將卡盤轉換為安全模式,盡快將卡盤加熱至露點以上。MPI STM™的功能是通過自動保持安全的測試環境,使TS3000的測量更加安全,可靠和方便。

                     

                     

                     

                     

                     

                  • 儀器集成

                    可選的儀器架可縮短電纜長度,并提高 RF和mmW 應用中的測量動態性和方向性。

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                     

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