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                  產品中心

                  TS2000-SE Probe System

                  MPI的TS2000-SE/8寸半自動探針臺是市場上首個具有創新功能的200mm自動化晶圓測試系統,其包含獨特的側面自動裝卸功能,
                  優勢:
                  適用于多種晶圓量測應用
                  ? 模塊量測 - DC-IV / DC-CV / Pulse-IV
                  ? 射頻和毫米波 - 26 GHz 至 110 GHz 及以上
                  ? 失效分析 - 探針卡 / 節間探測
                  ? 可靠性測試 - 熱/ 冷 / 長時間測試
                  ? 高功率測試 - 至高 10 kV / 600 A
                  MPI ShielDEnvironment? 屏蔽環境
                  ? 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所設計的精密量測環境
                  ? 支持飛安級低漏電值量測
                  ? 支持溫度范圍 -60 °C 至 300 °C

                  特點與優勢

                  • ShielDEnvironment™

                    MPI ShielDEnvironment™是一個高性能的微屏蔽暗箱,可為超低噪聲,低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環境。

                     

                     

                     

                     

                     

                  • ShielDCap™

                    MPI ShielDEnvironment™允許多達 4個端口的RF或多達8個端口的DC / Kelvin等多種測試組合。

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                  • 自動化晶圓裝載系統

                    該功能提供了非常方便的晶圓裝載,并且易于針對自動程序進行預對準,可支持100mm、150mm、200mm等不同尺寸的晶圓。

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                  • 安全管理(STM)系統

                    獨特的STM系統可防止在測試過程中打開正門,以保證測試過程的安全,任何情況下都無法打開任何系統門。獨特的智能露點控制程序可避免冷測試期間的積聚,系統自動監視CDA或氮氣的流量。如果流量中斷或流量不足,則STM™會自動將卡盤轉換為安全模式,迅速將卡盤加熱至露點以上。MPI STM™的功能是通過保持安全的測試環境,使TS2000-SE的測量更加安全,可靠和方便。

                     

                     

                     

                     

                  • 高效率的裝卸

                    自動化的單晶圓裝載機和安全測試管理提供了獨特的功能,可以在卡盤任意溫度下更換晶圓,不再需要冷卻或加熱到環境溫度。這樣可以節省大量的等待時間,并顯著提高MPI測試系統的整體效率,可支持100mm-200mm不同尺寸晶圓。

                     

                     

                     

                     

                  • 側視影像系統(VCE™)

                    借助MPI8寸探針臺獨特的自動側視– VCE™影像系統可視化的觀察探針針尖與樣品之間的接觸,使用DC或RF等探針卡非常安全。

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                  • ERS獨特的 AC3冷卻技術

                    MPI旗下全系列探針臺系統均采用ERS獨特的AC3冷卻技術和自我管理系統,可使用回收的冷卻空氣吹掃MPI ShielDEnvironment™,與市場上的其他系統相比,可大幅減少30%至50%的空氣消耗。

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                     

                  • MPI THZ選項

                    它將TS2000-SE系統轉換為專用的mmW和THz探針臺,這是市場上的第一個自動化探針臺測試系統:

                    MPI THZ Selection融合了MPI為TS200-THZ開發的頻率擴展器集成創新設計,可將擴展器懸停在整個200 mm晶圓上;

                    這將與DUT的距離減至最小,以提供最佳的測量方向性和準確性。

                     

                     

                     

                     

                  • 溫控系統

                    溫度控制可以通過集成的觸摸屏顯示器來操作,該顯示器位于操作員前方的便利位置,以實現快速的操作和即時的反饋。

                    TS2000-SE內置集成了高性能的振動隔離平臺,可在任何實驗室測試環境中更好地運行??傉嫉孛娣e可比或小于行業中常用的獨立振動臺??蛇x的儀器架可縮短電纜長度并增加測量動態性和方向性。

                     

                     

                     

                     

                     
                  • 控制面板

                    智能硬件控制面板完全集成到探針系統中,并基于數十年的經驗和客戶互動而設計,以提供更快,更安全,更便捷的系統控制和測試操作。隱藏式的鍵盤、鼠標增加整體美觀

                     

                     

                     

                     

                     

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