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                  真空低溫電學測試探針臺的技術指標都有什么
                  發布時間:2022-03-24   瀏覽:

                  真空低溫電學測試探針臺有以下十五技術指標

                  1、溫度范圍:80 K-475 K;

                  2、制冷形式:采用液氮制冷;

                  3、循環時間:小于2.5小時;

                  4、4個直流探針臂,用來做電學實驗,可進行直流到50 MHz的電學測量;

                  5、探針臂的可移動距離X方向51 mm;

                  6、*在一個探針臂上安裝溫度計,可方便實時監測探針溫度,準確判斷系統是否達到溫度平衡;

                  7、*回溫方式:防輻射屏上安裝溫度計和加熱器,系統可進行快速回溫;

                  8、采用四通道高性能控溫儀,可分別對防輻射屏、樣品臺、探針臂進行控溫和測溫;

                  9、控溫穩定性:優于±100 mK;

                  10、*顯微鏡系統光學分辨率優于4 µm,樣品照明采用同軸光和環形光各一套;

                  11、*直流探針具有Guard保護結構設計,適合于進行微弱電信號測量,減少漏電流;

                  12、直流探針阻值為50歐姆,為射頻RF測量提供很好的匹配阻抗;

                  13、*探針臂分別在防輻射屏及樣品臺上熱沉,減少探針落針對樣品溫度的影響;

                  14、基礎溫度真空指標:約5 × 10-5 Torr;

                  15、 系統配備50 L進口液氮杜瓦.。

                  MPI 探針臺

                  英鉑科學儀器(上海)有限公司是一家專注于半導體晶圓級測試系統、微納米科學等領域提供綜合性解決方案的企業,為全國各大高校、科研院所及企事業單位提供先進的半導體測試系統及微納米科學儀器設備,助祖國半導體科學事業的騰飛貢獻一份綿薄之力,期待與您合作!

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                  本文關鍵詞:

                  真空探針臺 低溫探針臺 測試探針臺 技術指標


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