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                  Kosaka 6寸臺階儀 ET200A

                  ? 設備主體花崗巖,低熱膨脹,低重心,自隔震
                  ? 獨特的直動式傳感器設計
                  ? Z方向分辨率0.1m;重復性1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm
                  ? Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)
                  ? 樣品臺的垂直直線度保證:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm
                  ? 高精度的X方向位移光柵尺控制,X方向最大測量長度100mm,Y方向最大移動150mm
                  ? 選配三維測量功能

                  特點與優勢

                  • 極佳重復性與線性度

                    •   采用直動式檢測方式

                    •   可避免圓弧補正誤差

                    •   可避免Bearing間隙誤差

                    •   臺階測定重復性:1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm

                    •    Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

                     

                     

                     

                  • 高分辨率

                    • 縱軸最高分辨率0.1nm

                     

                    • 橫軸最高分辨率0.1um

                     

                    • X測定速度可調:5μm~2mm/s

                     

                     

                     

                  • 低測定力

                     

                    • 測定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意設定

                     

                    • 可測定軟質材料面,如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等

                     

                     

                     

                     

                  • 真直度保證-1

                     

                     

                     

                     

                  • 線性尺與時間取樣

                     

                     

                     

                  • 形狀及粗度解析結果

                     

                     

                     

                    粗度規范對應:可對應各種國際新舊標準規范,測量參數多達60種

                  • 成交客戶(包括但不限于)

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