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                  Kosaka 粗糙度輪廓儀

                  KOSAKA SE 500-59表面粗糙度測定機是一款KOSAKA新推出的經濟型便攜式臺式兩用機型。根據您的需求任意組合,并可對多種零件表面的粗糙度,波紋度以及原始輪廓進行多參數評定,是一款帶有專用控制器的高精度,高性能,表面粗糙度測量儀器,簡單操作,顯示一目了然。

                  特點與優勢

                  • 微細形狀測定機(臺階儀)Step Height Measuring System

                    ET150K31 組合

                    產品特性

                    · 設備主體花崗巖,低熱膨脹,低重心,自隔震

                    · 獨特的直動式傳感器設計

                    · Z方向重復性1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm

                    · Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

                    · 樣品臺的垂直直線度保證:局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

                    · 高精度的X方向位移光柵尺控制,X方向最大測量長度100mm,Y方向最大移動150mm

                    · 自帶三維測量功能

                    ET150K31的結構

                  • 花崗巖低重心設計

                    極佳重復性與線性度

                    采用直動式檢測方式

                    可避免圓弧補正誤差

                    可避免Bearing間隙誤差

                    臺階測定重復性:1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm

                    Z方向線性度為±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

                  • 直動式檢出器構造

                     

                    直動式檢出器測量邊沿效應

                     

                  • 重復測量數據 (10 times)

                    Taylor Hobson 標準樣

                  • 直動式檢出器測量邊沿效應

                     

                     

                    線性度

                    Vertical linearity(垂直線性度) : ±0.25% (樣品厚度> 2000A);5A (樣品厚度≤2000A)

                    線性度計算公式: 誤差范圍 / Z方向測量范圍

                    測量設備型號 : ET-150系列

                    測試樣品為 :VLSI 和TAYLOR HOBSON 認證的標準樣品

                    Taylor Hobson Step Height Mean Value : (2.454 ± 0.030)um

                    VLSI Step Height Mean Value : (946.8 ± 5.6) nm

                    VLSI Step Height Mean Value : (41.6 ± 0.7) nm

                     

                  • VLSI SHS-9400QC

                     

                    VLSI SHS-440QC

                     

                     

                  • 高分辨率

                    縱軸最高分辨率0.1nm
                    橫軸最高分辨率0.1um
                    X測定速度可調:5μm~2mm/s
                    可測量超薄樣品、高深寬比樣品、多層臺階等

                    超高垂直直線度

                    垂直直線度:任何直線垂直方向上的偏移量稱為垂直直線度

                    可追溯性:通過ISO9000國際認證,可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ,產品出廠皆有出廠測試認證報告

                    超高垂直直線度精度保證:  局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

                                                                 可測定樣品的平面度、波紋度、翹曲度、內應力

                                                                 超高垂直直線度的優勢

                     

                  • ET150K31絕佳的設計,達到最佳的測量效果

                     

                     

                    設備主體花崗巖,低熱膨脹,低重心,自隔震

                    最佳的測量穩定性和設備穩定、耐用性

                    直動式檢測器

                    最佳的測量重復性&線性度,確保各樣品臺階測量的精度、準確度

                    樣品臺超高的垂直直線度保證

                    進一步提高臺階測量精度,確保樣品形狀不變形

                    樣品臺X方向光柵尺定位,最長測量距離100mm,最快測量速度5μm/s

                    樣品周期性結構不失真,長距離有利于測定多種國際參數

                     

                     

                    實時監控測量位置

                     

                  • 超高直線度國際認證數據

                    位移光柵尺與時間取樣

                  • 形狀及粗度解析

                    粗度規范對應:可對應各種國際新舊標準規范,測量參數多達60種;可測量臺階及傾斜度。

                    超大測定力范圍

                    測定力在10 ~ 500uN、1~50mgf可任意設定可測定軟質材料面,如:COLOR FILTER、SPACER、PI等

                  • 觸針保護蓋板及方便更換

                     

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