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                  超低溫磁場探針臺

                  半自動真空低溫探針臺使晶圓和器件在低溫下9k(singleCCR系統)、4.5K(dualCCR系統)甚至低于4K(triple CCR系統)的情況下能夠快速、經濟地進行測試。低溫探針臺,設計用于支持在真空或氣體環境中對高達100mm、150mm或高達300mm的晶圓進行自動動或半自動測試。 系統精度高、成本低、噪音低、使用方便。系統建立在一個振動補償的多功能平臺上,能夠配置來各種測試應用程序。

                  特點與優勢

                  •                                                                · 可用于高達100mm、150mm和200mm的晶圓測試

                                                                                   · 可配置4或6個探針臂。

                                                                                   · 還可以選擇探卡進行測試

                                                                                   · 顯微鏡選擇包括7:1,12.5:1和16:1數碼變焦顯微鏡

                                                                                   · BNC, Triax, DC pin and RF 可選

                                                                                   · 用于探針微米級定位的高分辨率探針臂

                                                                                   · Isolated, grounded, coaxial or triaxial chuck可選

                                                                                   · RF選件包括可定制的RF探頭、RFchunk和屏蔽罩系統

                                                                                   · 具有良好的隔振性能

                     

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