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                  納米探針臺

                  納米探測面臨的挑戰
                  · 定位精度
                  · 安全(軟)著陸接觸
                  · 具有適當尖端半徑的可靠探針頭
                  · 清潔環境:試驗箱、樣品、探針頭
                  · 振動敏感性低
                  · 噪聲抑制
                  · 漂移補償
                  · 電路編輯/延遲:在FIB角度操作

                  特點與優勢

                  •  

                     

                     

                  •  

                     

                     

                     

                     

                  • 優勢

                    電流成像

                    ·   快速圖像采集(每幀約5秒)

                    ·   不需要更容易控制的反饋

                    ·   原位應用,掃描電鏡可以用來確定投資回報率

                    ·   與標準鎢探針頭配合使用

                    ·   picoamp分辨率,識別泄漏

                    ·   污染物清除

                     

                  • 恰當的高級探測工具

                     

                     

                    ·    適應您對工作流程的快速理解

                     

                    ·    相關的光鏡和電子顯微鏡,EBIC/EBAC,電流成像-獲得整個圖像

                     

                    ·     快速發現故障(開路、短路、連接泄漏、晶體管故障等)

                     

                     

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